乙硅烷
產品詳情：
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乙硅烷（Si2H6）Disilane |
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化學式 |
Si2H6 |
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中文名稱 |
乙硅烷 |
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英文名稱 |
Disilane |
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CAS No. |
1590-87-0 |
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分子量 |
66.22 |
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充裝系數 |
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應用 |
太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相淀積。 |
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產品規格 |
≥99.999% |
