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      特種氣體
      
      
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      乙硅烷
      
                
      乙硅烷
      
                
      
           
      
	產品詳情：
	
      
		
			
      
				
					
      
						乙硅烷（Si2H6）Disilane 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						  
					
      
				      		
				
					
      
						  
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						化學式 
					
      
				      		
				
					
      
						Si2H6 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						中文名稱 
					
      
				      		
				
					
      
						乙硅烷 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						英文名稱 
					
      
				      		
				
					
      
						Disilane 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						CAS No. 
					
      
				      		
				
					
      
						1590-87-0 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						分子量 
					
      
				      		
				
					
      
						66.22 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						充裝系數 
					
      
				      		
				
					
      
						  
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						應用 
					
      
				      		
				
					
      
						太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相淀積。 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						產品規格 
					
      
				      		
				
					
      
						≥99.999% 
					
      
				      		
			
      
		      
	
      

      
      

      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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