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      六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6
      
                
      六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6
      
                
      
           產品詳情：

      
	
		
      
			
				
      
					六氟丁二烯（C4F6）
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					 
				
      
			      		
			
				
      
					 
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					化學式
				
      
			      		
			
				
      
					C4F6
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					中文名稱
				
      
			      		
			
				
      
					六氟丁二烯
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					英文名稱
				
      
			      		
			
				
      
					1,3-Hexafluorobutadiene
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					CAS No.
				
      
			      		
			
				
      
					685-63-2
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					分子量
				
      
			      		
			
				
      
					297.8
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					充裝系數
				
      
			      		
			
				
      
					2.8kg/L
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					應用
				
      
			      		
			
				
      
					全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應GWP極低，綠色環保的高效干蝕刻氣體，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性，更適合于高深寬比的蝕刻工藝。
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					產品規格
				
      
			      		
			
				
      
					≥99.995%
				
      
			      		
		
      
	      

      
               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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