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四氟化碳|四氟化碳|四氟甲烷

四氟化碳|四氟化碳|四氟甲烷

高純四氟化碳|四氟化碳氣體|四氟甲烷CF4

高純四氟化碳|四氟化碳氣體|四氟甲烷CF4

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。


產(chǎn)品詳情



中文名

四氟化碳

英文名

carbon tetrafluoride

別名

四氟甲烷

英文別名

Tetrafluoromethane

CAS

75-73-0

EINECS

200-896-5

化學式

CF4

分子量

88

InChI

InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5

密度

-128

熔點

-184℃

沸點

-128℃

產(chǎn)品用途

用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑

安全術(shù)語

S38 - 通風不良時,須佩戴適當?shù)暮粑鳌?/span>

危險品運輸編號

UN 1982


產(chǎn)品純度


99.99~99.9999%


包裝說明


43L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材質(zhì)閥門,閥門型號CGA660


產(chǎn)品說明


四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體??諝庵胁蝗紵?,是比較穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。


注意事項


不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內(nèi)。倉內(nèi)溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發(fā)用。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時,應迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。四氟化碳一般認為是惰性低毒物質(zhì),在高濃度下是窒息劑,其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳為非腐蝕性氣體,所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅,鋁等金屬材料都可以使用,但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫,一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下:因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀。可以用聚四氟乙烯,環(huán)氧樹脂和醋酸纖維。尼龍在高溫,有水和空氣時變脆。聚三氟氯乙烯聚合體可以用,但稍微有膨脹。廢氣可直接排人大氣中。

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