硅烷氣體
硅烷在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋，如果濃度不夠低．仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃，大于3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。硅烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應，與氯、溴發生爆炸性反應，與四氯化碳激烈反應。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽能電池，光導纖維，有色玻璃制造，化學氣相淀積。
注意事項：
| 化學式 | SiH4 | 危險貨物編號 |
21050 |
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| 理化性質 | 外觀與性狀 | 無色自燃氣體。 | 爆炸界限 | 0.8%~98% |
| 熔點（℃） | -185.0℃ | 相對密度(空氣=1) | 1.114 | |
| 沸點（℃） | -111.5℃ | 臨界溫度（℃） | -3.4℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇高熱明火極易燃燒爆炸，在空氣中自燃，吸入引起發熱、頭痛、惡心、多汗、暈厥。 | |||
| 急救方法 | 迅速撤離污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入，切斷火源。建議應急處理人員帶正壓自給式呼吸器，穿防靜電服，從上風口進入切斷泄漏源，噴霧狀水稀釋，出污染區后立刻就醫 | |||
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產品規格 |
99.99% |
99.999% |
99.9999% | |||||
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氧 氬（O2 Ar） |
≤1ppm
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≤0.4ppm
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≤0.1ppm |
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氮氣（N2） |
≤1ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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氫氣（H2） |
≤50ppm |
≤30ppm
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≤20ppm
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氦氣（He） |
-
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≤10ppm
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≤10ppm
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總烴THC |
≤0.2ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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一氧化碳+二氧化碳（CO+CO2） |
≤0.2ppm
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≤0.4ppm
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≤0.1ppm
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氯化物THCL
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≤15ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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甲硅醚 |
≤1ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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| 乙硅烷（Si2H6） |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
≤0.1ppm |
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| 水（H2O） |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
≤0.1ppm |
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