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      高純氣體
      
      
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      乙硼烷|二硼烷B2H6
      
                
      乙硼烷|二硼烷B2H6
      
                
      
           
      
	

	
      
		
			乙硼烷 5.0N                     Diborane   5.0N 
		
	
      
	
      
	
      
	
      
		
			組分                                  Components 
		
		
			規格  Specification 
		
	
      
	
      
		
			乙硼烷                               Diborane（B2H6） 
		
		
			99.999% 
		
	
      
	
      
		
			氮                                      Nitrogen (N2)  
		
		
			≤2 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			氧                                      Oxygen (O2)  
		
		
			≤0.5 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			二氧化碳                           Carbon Dioxide (CO2) 
		
		
			≤2 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			甲烷                                  Methane (CH4)  
		
		
			≤4 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			氫                                      Hydrogen (H2)  
		
		
			≤100 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			水                                      Water (H2O) 
		
		
			≤0.1 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			三氟化硼                           Boron trifluoride（BF3） 
		
		
			≤50 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			丁硼烷                               Teraborane(B4H10) 
		
		
			≤180 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			戊硼烷                               Pentaborane(B5H9） 
		
		
			≤10 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			
      
				戊硼烷                               Pentaborane（B5H11） 
			
      
		      		
		
			≤10 ppmv 
		
	
      
	
      
		
			產品用途：用于半導體、太陽能電池等領域 
		
	
      
      
	
               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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