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      氟化學產品
      
      
      氟化學產品
      
    
      
    
    
      

    
      
      
      
        
      全氟丁二烯、六氟-1,3-丁二烯、C4F6
      
                
      全氟丁二烯、六氟-1,3-丁二烯、C4F6
      
                
      
           
      
	
      
		
      
			全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應GWP極低，綠色環保的高效干蝕刻氣體，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性，更適合于高深寬比的蝕刻工藝。
		
      
	
      

      

      
	
      
		產品信息概括
	
      
	
      
		
			
      
				
					
      
						項目
					
      
				      		
				
					
      
						說明
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						化學名稱
					
      
				      		
				
					
      
						全氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						CAS號
					
      
				      		
				
					
      
						685-63-2
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						ODP
					
      
				      		
				
					
      
						0
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						GWP100年
					
      
				      		
				
					
      
						＜1
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						大氣停留時間（天）
					
      
				      		
				
					
      
						1.1
					
      
				      		
			
      
		      
	
      
	
      
		 
	
      
	
      
		物化性質
	
      
	
      
		
			
      
				
					
      
						屬性
					
      
				      		
				
					
      
						值
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						化學名稱
					
      
				      		
				
					
      
						全氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						結構式
					
      
				      		
				
					
      
						CF2=CF-CF=CF2
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						分子式
					
      
				      		
				
					
      
						C4F6
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						分子量
					
      
				      		
				
					
      
						162.03
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						沸點（℃）
					
      
				      		
				
					
      
						6
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						凝固點（℃）
					
      
				      		
				
					
      
						-130
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						臨界溫度（℃）
					
      
				      		
				
					
      
						139.6
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						臨界壓力（bar）
					
      
				      		
				
					
      
						31.9
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						液體密度（15℃，kg/l）
					
      
				      		
				
					
      
						1.44
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						蒸汽密度（kg/m3,@15℃）
					
      
				      		
				
					
      
						6.8
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						蒸汽壓（25℃，bar）
					
      
				      		
				
					
      
						2.11
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						汽化潛熱（熔點時，1.013bar情況下，kJ/kg）
					
      
				      		
				
					
      
						161.8
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						空氣中的可燃范圍（%vol)
					
      
				      		
				
					
      
						7-73
					
      
				      		
			
      
		      
	
      
	
      
		包裝規格：4.64L/10.2L/44L 鋼瓶
	
      
	
      
		
      
      
	
      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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      特種氣體
      
             
              	
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