江西六氟化硫氣體的運(yùn)輸和儲存方法介紹
- 發(fā)布時(shí)間：2021-12-22
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電子級六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代六氟化硫（化學(xué)式為SF6）常態(tài)下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性，在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同，六氟化硫可分為工業(yè)級六氟化硫以及電子級六氟化硫，近年來，隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升，市場對電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來越高，在此背景下，六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級向電子級方向升級。
電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件等大規(guī)模集成電路的蝕刻和清洗過程中。作為一種高附加值的精細(xì)化學(xué)品，電子級六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘，早期受技術(shù)限制，我國電子級六氟化硫產(chǎn)能不足，產(chǎn)品進(jìn)口依賴度較高，進(jìn)入21世紀(jì)，我國電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，國內(nèi)市場對電子級六氟化硫的需求增長快速，電子級六氟化硫?qū)崿F(xiàn)自主生產(chǎn)需求迫切。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，電子級六氟化硫市場需求增速加快，我國電子級六氟化硫生產(chǎn)能力實(shí)現(xiàn)增長。
目前來看，我國六氟化硫生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量較多，但其中具備電子級六氟化硫量產(chǎn)能力的企業(yè)較少，公司電子級六氟化硫產(chǎn)品純度已達(dá)到5.5N級。我國電子特氣進(jìn)口依賴度較高，為提升電子特氣自給率、爭奪國際市場，我國政府對電子特氣行業(yè)發(fā)展的重視度提升。電子級六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘，早期我國電子級六氟化硫進(jìn)口依賴度較高，近年來，在政策扶持力度加大、企業(yè)研發(fā)能力提升的背景下，電子級六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。目前我國具備電子級六氟化硫量產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量較少，市場供應(yīng)仍偏緊，未來我國電子級六氟化硫行業(yè)發(fā)展空間廣闊。
