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江西六氟化硫氣體的運(yùn)輸和儲存方法介紹

  • 發(fā)布時(shí)間:2021-12-22
  • 發(fā)布者: 本站
  • 來源: 原創(chuàng)
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  電子級六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代六氟化硫(化學(xué)式為SF6)常態(tài)下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性,在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同,六氟化硫可分為工業(yè)級六氟化硫以及電子級六氟化硫,近年來,隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升,市場對電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來越高,在此背景下,六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級向電子級方向升級。

  電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件等大規(guī)模集成電路的蝕刻和清洗過程中。作為一種高附加值的精細(xì)化學(xué)品,電子級六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘,早期受技術(shù)限制,我國電子級六氟化硫產(chǎn)能不足,產(chǎn)品進(jìn)口依賴度較高,進(jìn)入21世紀(jì),我國電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,國內(nèi)市場對電子級六氟化硫的需求增長快速,電子級六氟化硫?qū)崿F(xiàn)自主生產(chǎn)需求迫切。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,電子級六氟化硫市場需求增速加快,我國電子級六氟化硫生產(chǎn)能力實(shí)現(xiàn)增長。

  目前來看,我國六氟化硫生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量較多,但其中具備電子級六氟化硫量產(chǎn)能力的企業(yè)較少,公司電子級六氟化硫產(chǎn)品純度已達(dá)到5.5N級。我國電子特氣進(jìn)口依賴度較高,為提升電子特氣自給率、爭奪國際市場,我國政府對電子特氣行業(yè)發(fā)展的重視度提升。電子級六氟化硫行業(yè)存在一定的技術(shù)、研發(fā)以及資金壁壘,早期我國電子級六氟化硫進(jìn)口依賴度較高,近年來,在政策扶持力度加大、企業(yè)研發(fā)能力提升的背景下,電子級六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。目前我國具備電子級六氟化硫量產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量較少,市場供應(yīng)仍偏緊,未來我國電子級六氟化硫行業(yè)發(fā)展空間廣闊。

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