2022年后電子級六氟化硫SF6氣體逐漸實現國產替代 

六氟化硫（化學式：SF6）在正常條件下是一種無色、無味、無毒、無味和不易燃的氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學穩定性、耐腐蝕性、電絕緣性和耐熱性。廣泛應用于半導體、電力設備、航空航天、半導體制造、金屬加工、醫藥等領域。

根據應用領域的不同，六氟化硫可分為工業六氟化硫和電子六氟化硫。近年來，隨著大規模集成電路技術的進步，市場對電子氣體的純度和質量提出了越來越高的要求。在此背景下，六氟化硫行業正逐步從工業質量升級為電子質量。