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碳酰氟是電子特種氣體,目前國內尚未實現規(guī)模化生產

  • 發(fā)布時間:2022-10-08
  • 發(fā)布者: 本站
  • 來源: 原創(chuàng)
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碳酰氟制備方法較多,主要有:一氧化碳電解氟化法、一氧化碳氟氣氟化法、二氧化碳氟氣氟化法、光氣氟化法、二氟一氯甲烷(R22)/三氟甲烷(R23)光氧化法、全氟烷基碘與氧氣反應法、四氟乙烯(TFE)氧氣氧化法等。其中,一氧化碳氟氣氟化法反應條件溫和,可連續(xù)生產,轉化率高,應用較多;四氟乙烯法轉化率高、選擇性好,適于產業(yè)化,但相較前者原材料成本較高。碳酰氟,分子式為CF2O,也稱為氟光氣、羰基氟、氟化羰,常溫常壓下外觀為無色氣體狀,可加壓液化,便于儲存,有刺激性,有毒性,有強腐蝕性。碳酰氟可溶于乙醇,可溶于水,遇水可水解排放出劇毒氟化氫、二氧化碳氣體,不可燃,遇高溫可分解,分解產物為四氟化碳、二氧化碳,在密閉容器中有爆炸危險。

碳酰氟應用領域包括有機合成原料、有機合成中間體、有機合成氟化劑以及有機合成的純化與干燥等方面。高純碳酰氟可應用于半導體產業(yè)中,用作晶圓蝕刻劑、半導體設備清洗劑。碳酰氟的ODP(消耗臭氧潛能值)為零,GWP(全球變暖潛能值)低,是一種環(huán)保性好的氣體,在全球半導體產業(yè)規(guī)模不斷擴大背景下,其需求持續(xù)增長,是主要電子氣體產品之一。在全球范圍內,日本是最早在半導體產業(yè)中應用碳酰氟,并最早規(guī)模化生產電子級高純碳酰氟的國家。現階段,日本碳酰氟生產商主要有關東化學、昭和電工等。為滿足半導體產業(yè)需求,我國碳酰氟研究不斷深入,相關研究機構和企業(yè)主要有核工業(yè)理化工程研究院等。但目前,我國尚未實現碳酰氟大規(guī)模工業(yè)化生產,所處在小試生產階段,整體來看,與日本相比,我國碳酰氟行業(yè)發(fā)展緩慢,布局企業(yè)數量少,未來還有較大進步空間。

電子氣體產品種類多,除少數產品用量較大外,大部分單一產品用量小,但較多產品具有較高的不可替代性。早期,我國電子氣體市場對外依賴度大,在我國半導體產業(yè)規(guī)模持續(xù)擴大、生產技術不斷進步情況下,我國電子氣體國產替代步伐加快,較多細分市場國產化率不斷提高。由此來看,未來我國碳酰氟將逐步實現自主生產,下游市場需求大小是推動碳酰氟自主生產速度快慢的主要因素。

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