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三氯化硼，化學式為BCl3，外觀為無色發煙液體或氣體，有刺激性和酸味，有毒，屬于危險化學品。三氯化硼易潮解，遇水分解成氯化氫和硼酸，溶于醇，分解成鹽酸、硼酸酯，溶于苯、二硫化碳等一些有機溶劑。電子級三氯化硼是用于半導體和集成電路領域的高純度三氯化硼，其純度需要達到99.999%以上。

電子級三氯化硼用于電子工業，可用于半導體硅器件和集成電路制造過程中的離子注入、擴散摻雜、干法刻蝕等環節。可用于鋁、二硅化鉬、二硅化鎢、鈦硅合金等金屬、金屬化合物、合金材料的蝕刻，具有很強的不可替代性。電子級三氯化硼的雜質含量和純度直接影響半導體器件和集成電路的性能指標和良率。其純度要求在5N以上，生產技術壁壘高。

三氯化硼的生產是在惰性氣體環境中，在一定的溫度條件下，以硼粉和氯氣為原料，反應得到粗品，然后精餾得到三氯化硼。電子級三氯化硼在精制三氯化硼的基礎上，通過吸附、蒸餾等工藝提純得到最終產品。由于技術壁壘高，2018年之前，我國沒有電子級三氯化硼產業。三氯化硼產能、市場需求依賴進口，主要從美國空氣化工、美國普萊克斯、英國中銀集團等公司進口。

從2018年至今，我國陸續有電子級三氯化硼項目建設，年產能可以達到千噸以上。隨著我國電子級三氯化硼行業規模正在不斷擴大，產能正在不斷擴張，若生產的產品質量穩定能夠達到下游客戶要求，將逐步得到市場認可，在國內市場中的占有率有望不斷提升。若目前已建成或正在建設的本土電子級三氯化硼產能能夠持續穩定供貨，我國電子級三氯化硼進口依賴度將持續下降。