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行業(yè)新聞

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四氟化硅的理化性質(zhì)和運用

  • 發(fā)布時間:2023-03-11
  • 發(fā)布者: 本站
  • 來源: 原創(chuàng)
  • 閱讀量:

1、四氟化硅,是一種無機化合物,化學式為SiF4,分子結(jié)構(gòu)是Si原子以sp3雜化軌道形成σ鍵,分子形狀為正四面體形,主要用于氟硅酸及氟化鉛的制取,也用作水泥和人造大理石的硬化劑、制造純硅的中間體。四氟化硅在常溫下為無色、有毒、有刺激性臭味的氣體,溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸,在潮濕的空氣中可產(chǎn)生濃煙霧,生成硅氧化物和氟化氫。四氟化硅可與堿性物質(zhì)產(chǎn)生劇烈反應,與大部分含有水汽的材料反應生成極易燃的氫氣。

2、高純四氟化硅在電子氣體和半導體行業(yè)中發(fā)揮著舉足輕重的作用,因此對四氟化硅氣體的雜質(zhì)進行脫除和凈化,對于加快四氟化硅氣體的推廣應用具有重要的意義。國內(nèi)外有關(guān)5N(99.999%)級高純四氟化硅電子特氣研究內(nèi)容主要分為四氟化硅制備工藝技術(shù)和四氟化硅粗料提純工藝技術(shù)兩個方面。四氟化硅氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性,是我國亟待攻克的電子與半導體行業(yè)的“卡脖子”技術(shù)產(chǎn)品。

3、國內(nèi)外對四氟化硅氣體的制備與應用有很多制備四氟化硅的方法,但每種方法都存在著有優(yōu)勢與不足,目前國內(nèi)市場上的高純四氟化硅產(chǎn)品,存在總金屬雜質(zhì)含量高的缺點,無法滿足半導體行業(yè)對電子特氣的需要,高品質(zhì)的四氟化硅產(chǎn)品主要依賴美國和日本進口,針對市場需求,開發(fā)高層次、高品質(zhì),以適應國內(nèi)需求參與國際競爭。

中文名
四氟化硅
外文名
silicon tetrafluoride
化學式
SiF4
分子量
104.079
CAS登錄號
7783-61-1
EINECS登錄號
232-015-5
熔    點
-90 ℃
沸    點
-86 ℃
外    觀
無色氣體
安全性描述
S7/9;S23;S24/25;S26;S36/37/39;S45
危險性符號
C;T+
危險性描述
R26

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