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      碳酰氟(CF2O)是高純電子氣體,國內(nèi)準(zhǔn)備大規(guī)模生產(chǎn)

      • 發(fā)布時間:2025-05-19
      • 發(fā)布者: 本站
      • 來源: 原創(chuàng)
      • 閱讀量:
      碳酰氟(CF2O)
      產(chǎn)品說明


      碳酰氟,又名氟光氣,是一種含氟、非易燃、有毒氣體,化學(xué)式為CF2O,主要用作半導(dǎo)體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,也可用作有機(jī)合成的中間體、氟化劑。


       


      技術(shù)指標(biāo)


      組成


      單位


      指標(biāo)


      碳酰氟(CF2O)


      wt%


      ≥99.0


      三氟乙酰氟


      wt%


      ≤0.5


      其他


      wt%


      ≤0.5


       


      理化指標(biāo)


      檢測項(xiàng)目


      單位


      指標(biāo)


      化學(xué)名稱


      /


      三氟乙酰氟


      CAS


      /


      353-50-4


      分子式


      /


      CF2O


      結(jié)構(gòu)式


      /






      分子量


      g/mol


      66.01


      沸點(diǎn)(1atm)





      -84


      臨界溫度





      22.8


      液體密度


      g/ml


      1.14


       


      包裝方式


      本產(chǎn)品充裝在鋼瓶或運(yùn)輸槽罐中,鋼瓶包裝規(guī)格1000 kg/1000 L,鋼瓶充裝系數(shù)0.5 kg/L;鋼瓶或運(yùn)輸槽罐外附有標(biāo)簽、合格證,注明牌號、商標(biāo)、批號。


       


      注意事項(xiàng)


      1.產(chǎn)品儲存時要遠(yuǎn)離火源、熱源,防止超壓;儲存場所必須有良好的通風(fēng)裝置。
      2.高溫天氣,要對露天存放的鋼瓶進(jìn)行防曬降溫措施,防止超壓。
      3.本品按危險品運(yùn)輸,運(yùn)輸過程中應(yīng)避免受熱或劇烈震動。

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