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      一氟甲烷/HFC-41是什么化學氣體？
      
        
        
          
      • 發布時間：2022-09-04
        • 
          
      • 發布者： 本站 
        • 
          
      • 來源： 原創 
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		高純一氟甲烷HFC-41氣體是一種綠色、高效的蝕刻氣，它可選擇性地蝕刻硅化合物的薄膜，可用于半導體及電子產品的蝕刻制程中。 
	
      

      
	
      

      
	
      
		 產品信息概括 
	
      
	
      
		
			
      
				
					
      
						項目 
					
      
				      		
				
					
      
						說明 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						化學名稱 
					
      
				      		
				
					
      
						一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						CAS號 
					
      
				      		
				
					
      
						593-53-3 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						ODP 
					
      
				      		
				
					
      
						0 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						GWP100年 
					
      
				      		
				
					
      
						150 
					
      
				      		
			
      
		      
	
      
	
      
		  
	
      
	
      
		物化性質 
	
      
	
      
		
			
      
				
					
      
						屬性 
					
      
				      		
				
					
      
						值 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						化學名稱 
					
      
				      		
				
					
      
						一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						結構式 
					
      
				      		
				
					
      
						CH3-F 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						分子式 
					
      
				      		
				
					
      
						CH3F 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						分子量 
					
      
				      		
				
					
      
						34.03 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						沸點（℃） 
					
      
				      		
				
					
      
						-78.4 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						凝固點（℃） 
					
      
				      		
				
					
      
						-142 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						臨界溫度（℃） 
					
      
				      		
				
					
      
						44.5 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						蒸汽相對密度（空氣=1） 
					
      
				      		
				
					
      
						1.2 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						液體相對密度（水=1） 
					
      
				      		
				
					
      
						0.61 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						蒸汽壓（20℃，bar） 
					
      
				      		
				
					
      
						33 
					
      
				      		
			
      
			
      
				
					
      
						空氣中的可燃范圍（%vol) 
					
      
				      		
				
					
      
						>5.6 
					
      
				      		
			
      
		      
	
      
	
      
		包裝規格：4.64L/10.2L/44L 鋼瓶 
	
      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

  
  
      
  
      

      





      
	
      
		
      
			
			
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