電子特氣行業產業鏈介紹
- 發布時間：2022-11-07
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根據制備方法和應用領域的不同，工業氣體可分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體主要包括氧氣、氮氣、氬氣等空氣分離氣體和乙炔、二氧化碳等合成氣體。特種氣體種類繁多，主要包括電子特種氣體、高純氣體和標準氣體。
特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子行業生產中不可缺少的原料。特種氣體種類繁多，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積和摻雜等領域。它們被稱為集成電路、液晶面板、led和光伏等材料的“食物”和“來源”，決定著器件的最終成品率和可靠性。電子特氣廣泛應用于半導體、微電子及相關太陽能電池等高科技行業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化和清洗，或用作載氣、保護氣氛等。隨著半導體和微電子技術向高性能、高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的凈化變得越來越關鍵和重要。
電子特氣的上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)、鹵族元素(氟、氯)的基礎化工產業，下游在集成電路、面板、led等領域的各個工藝環節有著多種用途。電子特種氣體是生產集成電路、顯示面板等電子行業不可缺少的原材料。2021年，電子特種氣體在集成電路中的應用占43%，其次是顯示面板，占21%，LED和光伏，分別占13%和6%。主要應用環節包括離子注入、刻蝕、氣相沉積和摻雜。
集成電路是電子特氣主要下游應用，21年占比達43%。半導體產業是中國國民經濟的基礎性和戰略性產業。在政策加持下，打造“中國芯”、實現進口替代的緊迫性和重要性不斷加強。2011年，中國大陸的晶圓產能僅占全球的9%，2021年已經達到16%。預計2024年將達到19%，產業鏈逐漸向中國轉移。據統計，2021-2022年，全球新增晶圓廠29家，其中中國大陸8家，占比27.59%。
從電子特種氣體產業鏈來看，氣體原料和化工原料是電子特種氣體的主要生產原料；氣體是電子特種氣體的重要生產設備。此外，由于氣體產品多為危險化學品，運輸環節對鋼瓶的需求也必不可少。
