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在常溫常壓下，高純度六氟化硫無色、無味、無毒、不易燃、熱穩定性和化學穩定性。它無毒，自身性能優良，可滿足不同的生產要求。因此，在生產中廣泛使用高純度氣體。

在正常情況下，高純度六氟化硫是無毒的，但當它與其他物質反應時，會產生劇毒物質。電氣設備中的六氟化硫和分解產物在高溫電弧、電極、金屬材料、內部濕氣和其他絕緣材料反應后產生有毒產物。如果六氟化硫氣體不純，在出廠時很容易含有有毒氣體。

吸入高濃度六氟化硫會導致窒息癥狀，如呼吸困難、喘息、皮膚和粘膜發藍。通常，六氟化硫中毒是因為氣體在高溫和高溫環境中產生副產物。它們和未溶解的六氟化硫共存并產生毒性。