三氟化氯ClF3的物理性質
- 發布時間：2022-09-26
- 發布者： 本站
- 來源： 原創
- 閱讀量：
三氟化氯 - 基本信息
| 中文名 |
三氟化氯 |
| 英文名 |
Chlorine trifluoride |
| 別名 |
三氟化氯 |
| 英文別名 |
CHLORINE TRIFLUORIDE |
| CAS |
7990-91-2 |
| 化學式 |
ClF3 |
| 分子量 | 92.45 |
| 物化性質 | 理化性質 三氟化氯（ClF3）是一種很強氧化劑和氟化劑。它能大多數有機和無機材料甚至塑料反應，可以使許多材料不接觸火源就燃燒。這些反應通常很劇烈，在某些情況下甚至會爆炸。 它與一些金屬反應生成氯化物和氟化物，與磷反應生成三氯化磷和五氟化磷，而與硫反應生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也與水劇烈反應，水解產生有毒物質，例如氟化氫。H2S在室溫下與ClF3混合就會爆炸。 |
| 產品用途 | 用途 三氟化氯（CIF3）是一種用于清洗化學氣相沉積腔室及其管道清洗的重要的電子特氣。與其他含氟氣體（如NF3、C2F6和CF4）不同，三氟化氯在室溫下就能夠與半導體材料進行反應，因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟化氯進行清洗是一種化學刻蝕過程，腔室的熱量足以使其分解并與半導體材料反應，不存在等離子體那樣的高能離子轟擊過程，對設備的損壞可以降低到最低限度。相比等離子裂解制氟工藝，三氟化氯清洗工藝簡單而高效，且清洗效果更好。 |
| 危險品運輸編號 | UN 1749 2.3 |
| Hazard Class | 2.3 |
