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      乙硼烷混氬氣
      
                
      乙硼烷混氬氣
      
                
      
           
      
	
	
		
      
			
				乙硼烷混氬氣                                 B2H6/Ar Mixture
			
		
      
		
      
		
      
		
      
			
				組分                                               Components
			
			
				含量  Content
			
		
      
		
      
			
				乙硼烷                                            B2H6, 5N      
			
			
				≥0.1% 
			
		
      
		
      
			
				氬                                                   Ar，6N
			
			
				Balance （平衡氣）
			
		
      
		
      
			
				組分                                               Components
			
			
				
      
					規格  Specification
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				乙硼烷                                            Diborane（B2H6）5N
			
			
				99.999%
			
		
      
		
      
			
				氮                                                    Nitrogen (N2)
			
			
				≤2 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氧                                                   Oxygen (O2)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				二氧化碳                                        Carbon Dioxide (CO2)
			
			
				≤2 ppmv
			
		
      
		
      
			
				甲烷                                               Methane (CH4)
			
			
				≤4 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氫                                                   Hydrogen (H2)
			
			
				≤100 ppmv
			
		
      
		
      
			
				三氟化硼                                         Boron trifluoride（BF3）
			
			
				≤ 50 ppmv
			
		
      
		
      
			
				丁硼烷                                            Teraborane(B4H10)
			
			
				≤180 ppmv
			
		
      
		
      
			
				戊硼烷                                            Pentaborane(B5H9）
			
			
				≤10 ppmv
			
		
      
		
      
			
				戊硼烷                                            Pentaborane（B5H11）
			
			
				≤10 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氬                                                   Argon（Ar）6N      
			
			
				99.9999%
			
		
      
		
      
			
				氮                                                   Nitrogen (N2)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				水                                                   Water(H20)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氧                                                   Oxygen (O2)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				
      
					總碳氫化合物如甲烷                       Total Hydrocarbons as Methane (CH4)
				
      
			      		
			
				≤0.1 ppmv
			
		
      
		
      
			
				一氧化碳                                         Carbon Monoxide （CO）
			
			
				≤0.1 ppmv
			
		
      
		
      
			
				二氧化碳                                         Carbon Dioxide (CO2)
			
			
				≤0.1 ppmv
			
		
      
		
      
			
				包裝規格
			
		
      
		
      
			
				氣瓶大小                                         Cylinder Size
			
			
				 47L
			
		
      
		
      
			
				充裝量                                             Fill Weight (kgs)
			
			
				 100 bar
			
		
      
		
      
			
				閥門                                                Valve Connection
			
			
				 CGA350/DISS632
			
		
      
		
      
			
				尺寸                                                Cylinder Dimensions(cm)
			
			
				 23x140
			
		
      
		
      
			
				產品用途：用于半導體、太陽能電池等領域
			
		
      
	      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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