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      乙硼烷混氫氣
      
                
      乙硼烷混氫氣
      
                
      
           
      
	
	
		
      
			
				乙硼烷混氫氣                          B2H6/H2 Mixture
			
		
      
		
      
		
      
		
      
			
				組分                                        Components 
			
			
				含量  Content
			
		
      
		
      
			
				乙硼烷                                     B2H6, 5N      
			
			
				≥0.1%
			
		
      
		
      
			
				氫                                            H2，6N
			
			
				
      
					Balance（平衡氣）
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				組分                                        Components
			
			
				
      
					規格  Specification
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				乙硼烷                                     Diborane（B2H6）5N
			
			
				99.999%
			
		
      
		
      
			
				氮                                            Nitrogen (N2)
			
			
				≤2 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氧                                            Oxygen (O2)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				二氧化碳                                  Carbon Dioxide (CO2)
			
			
				≤2 ppmv
			
		
      
		
      
			
				甲烷                                         Methane (CH4)
			
			
				≤4 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氫                                            Hydrogen (H2)
			
			
				≤100 ppmv
			
		
      
		
      
			
				三氟化硼                                  Boron trifluoride（BF3）
			
			
				≤ 50ppmv
			
		
      
		
      
			
				丁硼烷                                     Teraborane(B4H10)
			
			
				≤180 ppmv
			
		
      
		
      
			
				戊硼烷                                     Pentaborane(B5H9）
			
			
				≤10 ppmv
			
		
      
		
      
			
				戊硼烷                                     Pentaborane（B5H11）
			
			
				≤10 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氫氣                                         Hydrogen（H2）6N    
			
			
				99.9999%
			
		
      
		
      
			
				水                                            Water(H20)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氧                                            Oxygen (O2)
			
			
				≤0.5 ppmv
			
		
      
		
      
			
				氮                                            Nitrogen (N2)
			
			
				≤0.5 ppmvv
			
		
      
		
      
			
				
      
					總碳氫化合物如甲烷                Total Hydrocarbons as Methane (CH4)
				
      
			      		
			
				≤0.1 ppmv
			
		
      
		
      
			
				一氧化碳                                  Carbon Monoxide （CO）
			
			
				≤0.1 ppmv
			
		
      
		
      
			
				二氧化碳                                  Carbon Dioxide (CO2)
			
			
				≤0.1 ppmv
			
		
      
		
      
			
				包裝規格
			
		
      
		
      
			
				鋼瓶規格氣瓶大小                    Cylinder Size
			
			
				 47L
			
		
      
		
      
			
				充裝量                                     Fill Weight (kgs)
			
			
				 100 bar
			
		
      
		
      
			
				閥門                                         Valve Connection
			
			
				 CGA350/DISS632
			
		
      
		
      
			
				鋼瓶尺寸                                  Cylinder Dimensions(cm)
			
			
				 23x140
			
		
      
		
      
			
				產品用途：用于半導體、太陽能電池等領域
			
		
      
	      

               
      
        
      
      
    
      
    
    
  

    
      
    
      
      
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